Размер стекла сцены:
528мм×428мм
Ход XY：
X: 500 мм Y: 400 мм
Ошибка индикации:
XY≤(3+L/200)мкм
Увеличение монитора:
40X-250X
Максимальный вес загрузки:
20 кг

Размер стекла сцены:
428мм×328мм
Ход XY：
X: 400 мм Y: 300 мм
X/Y Точность:
(3+л/200)мкм
Z Точность:
(5+л/200)мкм
Увеличение монитора:
27X-189X

Размер стекла сцены:
328мм×228мм
Ход XY：
X: 300 мм Y: 200 мм
X/Y Точность:
(3+л/200)мкм
Z Точность:
(5+л/200)мкм
Увеличение монитора:
27X-189X

Размер стекла сцены:
348мм×238мм
Ход XY：
X: 300 мм Y: 200 мм
Линейная точность:
(2,5+л/200)мкм
Точность вектора:
(2,8+л/200)мкм
Z Точность:
≤5 мкм (стандартная проверка)

Размер стекла сцены:
768мм×898мм
Ход XY：
X: 650 мм Y: 850 мм
Линейная точность:
(2,8+л/200)мкм
Точность вектора:
(3,5+л/200)мкм
Z Точность:
≤5 мкм (стандартная проверка)

Размер стекла сцены:
918мм×1048мм
Ход XY：
X: 800 мм Y: 1000 мм
Линейная точность:
(2,8+л/200)мкм
Точность вектора:
(3,5+л/200)мкм
Z Точность:
≤5 мкм (стандартная проверка)

Размер стекла сцены:
448мм×340мм
Ход XY：
X: 400 мм Y: 300 мм
Линейная точность:
(2,8+л/200) мкм
Точность вектора:
(3,5+л/200)мкм
Z Точность:
≤5 мкм (стандартная проверка)