В то время как SEM является выделенной системой обработки изображений, EDS является важной системой, которая использует специализированное программное обеспечение для предоставления пользователям разнообразной информации, необходимой для анализа образцов, включая информацию, относящуюся к качественному / количественному анализу, составлению карт и сканированию линий, в течение очень короткого времени. , EDS больше не является вспомогательной системой, и ее приложения и важность продолжают расти. По сравнению с обычными EDS, эта система очень проста в управлении, и даже новички могут легко использовать ее. Это тип SDD, который не использует жидкий азот для проведения анализа очень стабильно и позволяет проводить анализ с низким током электронного пучка. Типы EDS, совместимые с ISP SEM, включают в себя EDS, изготовленные тремя производителями: Bruker, EDAX и Oxford. Вы также можете использовать I-EDS, разработанную ISP, для покупки SEM ISP по более разумной цене.