Сканирующий растровый электронный микроскоп SS-300 - это модель, предназначенная для исследования крупных образцов и наблюдения изображений поверхности при большом увеличении до 300,000х и разрешении 3 нм. В качестве анода используется либо вольфрамовая нить, либо нить LaB6. Функционал микроскопа расширяется с помощью множества различных функций.
Спецификация
SS-300 SERIES | ||
---|---|---|
Модель | SS-300-SA | SS-300-DA |
Ⅰ. Характеристики | ||
1 Детектор | SE | SE+BSE |
2 Платформа | X,Y(50мм), R(360˚), Z (0~60мм), Tilt(-20~90˚) 5-осевая ручная |
X,Y(50мм), R(360˚), Z (0~60мм), Tilt(-20~90˚) 5-осевая моторизованная |
3 Разрешение | 3 нм | |
4 Ускоряющее напряжение | 0.5~30 кВ | |
5 Увеличение | 10x~300,000x | |
6 Макс размер образца | 140(D) x 60(H) мм | |
Ⅱ. Электронная оптика | ||
1 Электронная пушка | Вольфрамовый(W), LaB6 нить накала | |
2 Апертура(O.L) | Переменного типа (30/50/50/100 мкм) | |
3 Сдвиг пучка | X.Y 100㎛ (±50) | |
Ⅲ. Система изображений | ||
1 Дисплей | 22 дюйм LCD | |
2 Формат | BMP,JPEG,PNG,TIFF | |
3 OS | Windows10 | |
4 Режим сканирования | 320×240,640×480,1280×960,2560×1280,5120×3840 | |
5 Автоматизация | Автофокус, контрастность и яркость, стигматор, выравнивание пушки(с помощью катушки выравнивания) | |
Ⅴ. Вакуум | ||
1 Режим вакуума | Высокий вакуум | Высокий + низкий вакуум |
2 Насос | Начальный вакуум: роторный насос(100 л), Высокий вакуум: турбомолекулярный насос (80л) / Полная автоматизация |
|
Ⅵ. Размеры | ||
1 SEM | 746(W)x696(D)x1411мм, 250кг | |
2 Rotary Pump | 400(W)x160(D)x340(H)мм, 24кг | |
Ⅶ. Дополнительно | ||
1 SEM | CCD CAMERA(Navigation mode), Chamber CAMERA, Analysis Joystick Controller | |
2 Опция | EDS, WDS, EBSD, CL(Cathodoluminescent) Image, Cooling Stage, STEM Detector |