Описание
Лазерный прифилометр SIS-1200 PLUS был разработана для исследования таких объектов и материалов как LCD, MEMS, тонких полупроводниковых пластин-носителей, поверхностей высокоточной обработки, оптоволоконных материалов и многих других. Прибор использует усовершенствованный метод фазовой сканирующей интерферометрии и гарантирует высокую точность исследований, высокоточный анализ шероховатости поверхностей, и характеризацию параметров поверхности.
Особенности
- 3D анализ: Трехмерный анализ поверхности, получение статистики отчетов и результатов параметров поверхности.
- Быстрота исследования: Интерферометр анализирует все поле в видоискателе за несколько секунд. Высокоскоростной цифровой анализ позволяет проводить быстрое исследование.
- Высокое разрешение: Вертикальное разрешение: 0.1 нм. Настройки пользователя позволяют выбирать требуемое разрешение.
- Широкий диапазон измерений: Исследования поверхности позволяют анализировать высоту от 1 нм до 200 мкм.
- Вариативность полей зрения: прибор позволяет выбирать разные увеличения.
Конфигурация
- Основной модуль (750*750*1573 мм), за исключением контроллера и монитора
- гранитная основа, база
- Мост
- Оптический модуль
- Illuminator(LED Lamp)
- Модуль фильтров
- B/W CCD камера ; 640 X 480
- Основной контроллер
- Pentium IV PC
- Image Grabber
- Interface Board
- Main Monitor (17" LCD Color )
- Высокоскоростная/ Высокого разрешения CCD камера; 640 x 480 активных пикселей
- Высокоскоростной(до 30мкм/сек)/ высокоэффективный сканнер (ход 150 мкм)
- Высокоточный PZT сканирующий датчик замкнутого цикла
- Контроллер оптики и освещенности
- Драйвер движения по оси Z
- PZT Модуль усиления (емкостный датчик)
- Программное обеспечение
- I Series : программное обеспечение для измерений
- SNUMap : программное обеспечение для анализа
- Платформа для измерений
- XY : 150 x 100 мм
- Наклон: ±°
- Антивибрационный стол (750X750X750)
- Оптическая башня для объективов на 5 позиций
- Общий вес: около 300 кг
- Опциональные аксессуары
- Объективы
- 2.5X
- 5X
- 10X ( Mirau Type)
- 20X ( Mirau Type)
- 50X ( Mirau Type)
Спецификация
- Метод измерений:
- Усовершенствованный метод интерферометрии фазового сдвига
- Интерферометрия фазового сдвига
- Возможность проведения измерений :
- 3D измерения профиля поверхности
- измерение шероховатости поверхности
- измерение высоты ступени слоя металлического покрытия
- Зона обзора, измерений : От 0.181 мм до 3.62 мм: большие площади могут быть измерены, в зависимости от объектива
- Вертикальное разрешение : 0.1 нм
- Диапазон измерений : 0.2мкм to 150мкм с высокоточным PZT сканирующим датчиком замкнутого цикла
Объективы:
| Увеличение | 3D 50X | 3D 20X | 3D 10X |
| Рабочее расстояние, мм | 3.4 | 4.7 | 7.4 |
| Глубина фокуса, мкм | ±1.0 | ±1.8 | ±3.2 |
| Поле зрения, мкм | 181 х 136 | 450 х 340 | &900 х 680 |
| &Пространственная выборка, Мкм/пиксел | 0.57 | 1.42 | 2.83 |
| Наклон | 27.65 | 14.56 | 7.73 |
| Пространственное разрешение X/Y, мкм, | 0.64 | 0.88 | 1.18 |
| Линзы могут быть заменены для достижения наилучшей производительности. | |||
Ход платформы
| Ось | Тип | Ход |
| Z | Ручной | 50 мм |
| X, Y | Ручной | 150 x 100 мм |
| Наклон | Ручной | ±3° |
Программное обеспечение :
- Усовершенствованное обнаружение контура, определении краев. Высокоточные измерения с автофокусной настройкой
- 3D вид & вид сверху сканированных компонент.
- Программируемое позиционирования образцов.
- Экспорт данных профиля/цифровой фильтр/статистический анализ
- Дружественный интерфейс
- Полностью настраиваемый модуль программного обеспечения
- Режим согласования позиции и профиля
- Определение воспроизводимости и стандартного отклонения
- Большое множество параметров анализа поверхности и шероховатости (Ra, Rsk, Rku,..... & Sa, Sq, Ssk, Sku......)
- Функции зума для локального/общего изображения
- PS модуль измерений