Электронный микроскоп это прибор, чья разрешающая способность 1000—10000 раз превосходит разрешение традиционного светового оптического микроскопа и для лучших современных приборов может быть меньше одного ангстрема. Для получения изображения в электронном микроскопе используются специальные магнитные линзы, управляющие движением электронов в колонне прибора при помощи магнитного поля. Основа сканирующего электронного микроскопа — электронная пушка и электронная колонна, функция которой состоит в формировании остросфокусированного электронного зонда средних энергий (200 эВ — 50 кэВ) на поверхности образца. При взаимодействии электронов с объектом возникают несколько видов сигналов, каждый из которых улавливается специальным детектором. Соответственно, изображения, продуцируемые микроскопом, могут быть построены с использованием различных сигналов: изображение во вторичных электронах, изображение в отраженных электронах, рентгеновское изображение.
Сканирующие электронные микроскопы
Устройство ионного распыления используется для нанесения покрытия на поверхность образца путем эмиссии ионов через металлическую мишень. Эмиссия ионов вызвана плазменным разрядом в условиях низкого напряжения. Этот прибор для нанесения покрытий используется в качестве устройства предварительной обработки для получения четких изображений СЭМ. Цель этого устройства для нанесения покрытия состоит в том, чтобы позволить образцу увеличивать количество вторичных электронов, испускаемых электронным пучком, когда проводимость образца увеличивается. Это устройство для нанесения покрытия покрывает образец в вакууме в условиях низкого напряжения и не вызывает повреждения из-за электронного разряда. Он предназначен для легкого нанесения покрытия на образец.